环境扫描电子显微镜

仪器型号：Quanta 200

生产厂家：美国 FEI 公司

工作原理：电镜是利用电子射线轰击样品所产生的二次电子、背散射电子、X射线等信号对样品元素进行分析的一类电子显微分析技术。其特点是能在观察样品表面微观形貌及超微形貌结构的同时，对固体物质的微区的形貌和化学成分特征同时进行直观、精确、快速、无损观测分析，能对微区元素进行定性分析，定量分析，线分析，面分析等。

主要附件：X射线能谱仪；离子溅射仪；真空蒸镀仪；Peltier冷台、加热样品台

性能及技术指标：

      ·分辨率：高真空模式下30kV：3.0 nm；低真空模式下30kV：3.0 nm；高真空模式下3kV：10 nm；低真空模式下3kV：<12 nm；高真空模式下1kV：15 nm；环境真空模式下30kV：3.0 nm；背散射电子(BSE)成像：高真空模式下30kV：4.0 nm；

　　·放大倍数：高低真空模式下：6x - 1,000,000x；

　　·加速电压：200 V - 30 kV，连续可调；

　　·能量分辨率：Mn k α 132eV；

　　·元素分析范围：Be4-U92；

主要功能：扫描电镜+X射线能谱是各类材料超微结构分析和微区定性、定量成分分析的常用分析仪器，能对固体物质的微区形貌和化学成分特征同时进行直观、精确、快速、无损观测分析，能对微区元素进行定性分析，定量分析，线分析，面分析。

用途：广泛应用于地质、冶金、化工、玻璃、陶瓷、金属、半导体、新型材料、生物、医疗、考古、珠宝、形侦、国防及纳米材料领域，Quanta 200 具有环境扫描功能，适用于生物和环境样品的分析。

检测项目：

       ·金属材料、高分子材料、膜材料、无机盐等固体物质及粉末样品的形貌测试分析；

　　·固体物质微区元素的定性分析，定量分析，线分析，面分析。